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Hitachi bietet für jede Anforderung ein passendes SEM Gerät von Tabletop bis hin zu Kaltfeldemission. Jedes System hat seine eigenen Vorteile, um stets das Beste für Sie herauszuholen. Neben den hier aufgeführten Systemen bietet Hitachi auch Lösungen für TEM, FIB und AFM. Fragen Sie uns einfach und wir helfen Ihnen gerne.

Die Hi-SEM Familie von Hitachi umfasst die Wolframgeräte mit flexibelstem Einsatz. Beginnend bei den Tischelektronemikroskopen zur Erweiterung der optischen Mikroskopie bis zu den Arbeitstieren für den täglichen REM-Einsatz mit grossen Proben. für jeden Bedarf das passende REM.

  • Kompaktes Tischmikroskop (B x H x T: 330 mm x 617 mm x 547 mm), ohne zusätzliche Installation direkt auf dem Labortisch zu betreiben
  • Vergrösserung 10-fach bis 100'000-fach (250'000-fach)
  • Beschleunigungsspannung 5 kV, 10kV, 15 kV und 20kV
  • Hohe Tiefenschärfe durch Elektronenstrahloptik
  • Sehr einfache Bedienung – jeder kann damit arbeiten
  • Optional Automatische x.y stage, optische Kamera zur Unterstützung der Navigation
  • Elementkontrast mit Rückstreuelektronendetektor BSE (BSE und UVD Detektor für Sekundärelektronen-Bilder SE) sowie BSE und SE Mix
  • Verschiedene Image Modes zur Hervorhebung der Topologie oder der Elementverteilung
  • Stitching von SEM Bildern möglich (Multi ZigZag Funktion)
  • Elektronische Bildoptimierungsfunktionen für noch bessere Schärfe und mehr Kontrast
  • Report Creator für individuelle Gestaltung
  • Zwei Vakuumstufen zur Reduktion der Aufladung
  • Softwaretool für Messung von Distanzen
  • Optional mit EDX Detektoren ausrüstbar (siehe unten)

pdfTM4000 Brochure

  • Kompaktes Variable Pressure SEM
  • Volle Leistung eines Elektronenmikroskopes bei kleinem Platzbedarf
  • Keine externe Infrastruktur notwendig
  • Normaler Stromanschluss und PC
  • Vergrösserung 300'000-fach
  • Variable Beschleunigungsspannung 300V - 20kV
  • SEM-MAP Funktion für einfache Übersicht und Probenpositionierung
  • 5-Achsen Stage für volle Flexibilität

pdfFlexSEM 1000 II

  • Universelles SEM für die tägliche Arbeit
  • Proben bis 300mm Grösse und 130mm Höhe
  • Automatische Funktionen zur Unterstützung der Nutzer
  • Standardmässig mit VP Modus
  • BSE und SE Detektor als Standard mit Möglichkeiten zur Erweiterung (UVD, EDX etc.)

pdfSU3800/3900

 

Geräte mit Schottkyemitter für hochauflösende Bildaufnahmen bei gleichzeitiger Flexibilität für analytische Arbeiten.

  • Das Arbeitstier für Feldemissionsarbeiten, einfache Bedienung bei hoher Leistung
  • EM Wizzard für computergestützte Assistenz ungeübter Nutzer
  • Ideal für Industrie und high throughput Arbeiten

pdfSU5000

  • System für anspruchsvolle Nutzer der Industrie und Forschung
  • Paralleles Auslesen von 6 Signalen
  • 6 @ 6 Formel, Optimierung aller Signale bei 6mm Arbeitsabstand
  • 18 Ports für alle Arten von Detektoren und Zusatzequipment (UVD, CL, STEM, EDX, WDX, EBSD...)

pdfSU7000

 

Geräte mit CF-Emittern für ultra hochauflösende Abbildungen.

  • Maximale Variation von verschiedenen Signalen für das stets beste Bildergebnis
  • Bis zu 2’000'000 Vergrösserung möglich

pdfRegulus

  • 3D View Software Paket für die Berechnung der und Zubehör Z-Achse und die erweiterte Darstellung der 3. Dimension (Rauheit usw.)
  • Motorisierte Probentische
  • Kühltische für die Analyse von flüchtigen (im Vakuum) Proben
  • Zone Sample Cleaner Hitachi zur Entfernung von Kohlenwasserstoffen
  • Carbon und Gold Sputtergeräte für die Bedampfung der Proben mit Kohlenstoff oder Gold
  • Quantomix Probenhalter für die direkte Messung von Proben im flüssigen Zustand
  • Probenteller, Carbonpads, Resolutionsstandards, usw.
  • Digital Ion Coater
  • Kompletter Coating Prozess mit nur einem Knopfdruck
  • Arbeitet ohne Argon, nur mit Luft
  • Vacuumpumpe durch Geräteelektronik gesteuert
  • Verschiedene Metalle zur Beschichtung verfügbar
  • Kleines Gerät, Probekammer D=100 mm

pdfSPT-20 User Manual

 

Zum Hitachi TM4000 II sowie dem FlexSEM II Elektronenmikroskop wird von Oxford Instruments und von Bruker Nano je ein spezieller EDX Detektor für die Elementanalytik angeboten. Alle anderen Hitachi SEM Geräte können mit allen handelsüblichen EDX Detektoren ausgerüstet werden.

  • Wartungsfreier, hochleistungsfähiger SSD Detektor mit 30 mm2 SATW Element und Peltierkühlung
  • Auflösung < 137 eV @ MnKa oder < 158 eV @ CuKa
  • Für alle Elemente von Bor (B, Z=5) bis Uran (U, Z=92)
  • Punktmessung, Maps (TrueMap) und Linescans
  • Live Spectrum Monitoring möglich (AZtecLive One)
  • Qualitative und quantitative (semiquantitativ) Auswertung
  • Bedienerfreundliche, ausbaufähige Software mit guten Exportfunktionen zu Windows Office und Bildbearbeitungsprogrammen
  • Leistungsfähiger SSD Detektor mit 30 mm2 Element und kontinuierlicher Peltierkühlung
  • Auflösung < 129 eV @ MnKa oder < 148 eV @CuKa
  • Für alle Elemente von Bor (B, Z=5) bis Californium (Cf, Z=98)
  • Punktmessung, Maps und Linescans
  • Qualitative und quantitative (semiquantitativ) Auswertung
  • Umfangreiche, mehrsprachige Software mit vielen Optionen und Möglichkeiten

pdfQuantax 75

 

Hitachi hat ein System zum Herstellen und Polieren von Querschnitten oder anderen Probensegmenten mit einem Ar-Ionenstrahl entwickelt, mit Fokus auf bestmögliche Qualität der Oberfläche und einfache Bedienung. Saubere Schnittflächen ohne Schlieren oder Verschleppungen sind optimal für die weitere Analyse mit IR oder REM. Je nach Anforderung stehen 2 verschiedene Systeme zur Verfügung, das IM4000Plus oder das (IM5000 Ar-Blade)

  • Beschleunigungsspannung=0...6 kV(8kV)
  • Querschnitte fräsen mit bis zu 500 (1000) μm/h Leistung
  • Querschnitte bis 10mm Breite (IM5000)
  • Maximale Probengrosse —> 20 mm x 12 mm x 9 mm (B x D x H)
  • Max. Grosse beim Polieren —> D=50 mm x H=25 mm
  • Komplett herausfahrbare Stage und herausnehmbare Halter einfache Benutzung
  • optional mit Cryokühlung für hitzeempfindliche Proben und air protection holder für luftempfindliche Proben
  • Vacuumsystem mit Drehschieberpumpe und Turbomolekularpumpe (TMP)

pdfIM4000Plus

pdfIM5000 Ar Blade

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