Package TMP 

• Echange de la pompe TMP contre une pompe révisée.
• Nettoyage complet de l‘appareil et contrôle du système de vide

Package contrôle du vide

• Echange de la pompe TMP contre une pompe révisée.
• Changement des membranes de la pompe primaire.
• Contrôle complet du système de vide et changement des pièces si nécessaire.
• Nettoyage complet de l‘appareil.

Package service complet

• Identique au package contrôle du vide
• En plus changement des ouvertures et service complet de l‘objectif et du filament.